出演・登壇者 | 林 久貴 特任教授 |
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実施規模(定員等) | |
開催場所 |
名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリホ3階VBLホール |
詳細 | 毎月第3週金曜日、名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター(PLANT) が異種材料接合に関する産業界ニーズにお応えすべく最新の研究内容をご紹介します。講演後に産業界のお困り案件解決にむけて産学官が連携してディスカッションいたします。 講師:林 久貴 特任教授 名古屋大学 未来社会創造機構 東芝メモリ株式会社 プロセス技術研究開発センター タイトル:3次元メモリのためのプラズマエッチング技術 講演内容:今日の情報化社会で取り扱われるデータの量は増加の一途を辿っています。また、情報処理の現場ではリアルタイム性が重視され、データを低消費電力で高速に処理、記憶、および管理できる大容量ストレージが求められています。3次元フラッシュメモリは、これらの市場要求に応える最適なソリューションであり、キーとなる製造技術の1つは、プラズマエッチング技術です。本講演ではプラズマエッチング技術の基本を概説し、最新の動向と今後の展望をお話します。 |
イベントの 問い合わせ先 |
open@plasma.engg.nagoya-u.ac.jp |